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产品简介
原装EBARA荏原ESA25-D干式真空泵 干式真空泵，可排出氢气等轻质气体，可对大腔室进行高速排气用于高速排气的大型真空室有机溶剂兼容选项氢气等轻质气体的排放耐腐蚀材料选项油提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL研究设备的理想选择特定化学物质的吸附
原装EBARA荏原ESA25-D干式真空泵
原装EBARA荏原ESA25-D干式真空泵
ESA 型号阵容包括排量为 1,400 L/min ~ 10,000 L/min 的排量型号，适用于排气氢气等轻质气体，以及排量为 20,000 L/min ~ 80,000 L/min 的型号，适用于大室的高速排气。 适用于低于 10,000 L/min 的轻型气体排放，提供紧凑的设计和耐腐蚀材料选项，使其成为 MO-CVD 等高流量轻型气体排放应用的理想选择。 大型型号尽管排量大，但仍能实现安静的噪音和低振动，并且可以选择排出有机溶剂的选项，使其成为 LCD 溅射设备、真空干燥工艺、大负载锁等的理想选择。
| 型式 | 単位 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | |
| 排気速度 | L/min | 1,400 (50Hz) | 2,500 (50Hz) | 5,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 20,000 (50Hz/60Hz) | 28,000 (50Hz) | 47,000 (50Hz) | 80,000 (50Hz/60Hz) | |
| 1,700 (60Hz) | 3,000 (60Hz) | 6,000 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | 30,000 (60Hz) | 50,000 (60Hz) | |||||||||
| 到達圧力 | Pa | 400 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 0.27 (50Hz) | 0.4 (50Hz) | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | |
| 270 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 0.13 (60Hz) | 0.27 (60Hz) | |||||||||||
| 接続口径 | 吸気口 | NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | kW | 2.9 (50Hz) | 2.6 (50Hz) | 5.2 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2 (50Hz) | 6.6 (50Hz) | 5.1 (50Hz) | 7.4 | |
| 3.2 (60Hz) | 2.9 (60Hz) | 5.8 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 3.4 (60Hz) | 7.3 (60Hz) | 6.7 (60Hz) | ||||||||
| 冷却水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 14~17 (4.6) | 17~20 (3.8) | 34~40 | 24~27 (4.7) | 24~27 (4.7) | 54~57 | 54~57 | 54~57 | 54~45 | 17~20 (3.8) | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 |
| 電源 相／電圧／周波数 | 200Vモデル | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | |
| 400Vモデル | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | - | ||
| 460Vモデル | 3相/440V/50Hz 3相/440-480V/60Hz | 3相/440V/50Hz 3相/440-480V/60Hz | 3相/440V/50Hz 3相/440-480V/60Hz | ||||||||||||
| 電源容量 | kVA | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | |
| 概略質量 | kg | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 | |
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