进口EBARA荏原干式真空泵ESA70W(-D)兼容高温控制抽速大大流量排气采用耐腐蚀材料标准耐腐蚀性增强选项能够在重负荷下进行处理在不同频率下具有相同的性能 (50/60 Hz)油提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL
进口EBARA荏原干式真空泵ESA70W(-D)
进口EBARA荏原干式真空泵ESA70W(-D)
ESA25-D 系列 | ESA25XW | ESA70W(-D) 系列 | ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF 系列 | ESA80WN-高密度纤维板 | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | ||||
抽速 | 升/分钟 | 1,400 (50 赫兹) | 2,500 (50 赫兹) | 5,000 (50 赫兹) | 7,000 (50 赫兹) | 7,000 (50 赫兹) | 8,400 (50 赫兹/60 赫兹) | 8,400 (50 赫兹/60 赫兹) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 20,000 (50 赫兹/60 赫兹) | 28,000 (50 赫兹) | 47,000 (50 赫兹) | 80,000 (50 赫兹/60 赫兹) | |
1,700 (60 赫兹) | 3,000 (60 赫兹) | 6,000 (60 赫兹) | 8,400 (60 赫兹) | 8,400 (60 赫兹) | 30,000 (60 赫兹) | 50,000 (60 赫兹) | |||||||||
极限压力 | 帕 | 400 (50 赫兹) | 5.3 (50 赫兹) | 5.3 (50 赫兹) | 0.27 (50 赫兹) | 0.4 (50 赫兹) | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | |
270 (60 赫兹) | 4.0 (60 赫兹) | 4.0 (60 赫兹) | 0.13 (60 赫兹) | 0.27 (60 赫兹) | |||||||||||
连接直径 | 进气口 | 西北 40 | 西北 50 | ISO80认证 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 80 | ISO100 认证 | ISO160 认证 | ISO160 认证 | |
排气口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 50 | ||
极限压力下的近似功率 | 千瓦 | 2.9 (50 赫兹) | 2.6 (50 赫兹) | 5.2 (50 赫兹) | 3.6 (50 赫兹) | 3.6 (50 赫兹) | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2 (50 赫兹) | 6.6 (50 赫兹) | 5.1 (50 赫兹) | 7.4 | |
3.2 (60 赫兹) | 2.9 (60 赫兹) | 5.8 (60 赫兹) | 4.0 (60 赫兹) | 4.0 (60 赫兹) | 3.4 (60 赫兹) | 7.3 (60 赫兹) | 6.7 (60 赫兹) | ||||||||
冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
温度 | °C | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | |
注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | 14~17 (4.6) | 17~20 (3.8) | 34~40°C | 24~27 (4.7) | 24~27 (4.7) | 54~57 元 | 54~57 元 | 54~57 元 | 54~45 元 | 17~20 (3.8) | 7.5~10.5 | 8.5~11°C | 8.5~11°C |
电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
400V 型号 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | ||
460V 型号 | 三相/440V/50Hz 三相/440-480V/60Hz | 三相/440V/50Hz 三相/440-480V/60Hz | 三相/440V/50Hz 三相/440-480V/60Hz | ||||||||||||
电源容量 | 千伏安 | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | |
近似质量 | 公斤 | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 |