产品简介

ULVAC爱发科LS120A-L螺杆式干式真空泵
“Model：LS" 是被归类为螺杆式干式真空泵的真空泵。 过去，提高抽速需要消耗大量功率，但通过将专有的螺杆形状与节能技术相结合，这款干式真空泵实现了高速排气和低功耗。 有四种型号的阵容，您可以根据设备的大小、使用条件和用途选择具有最佳泵送能力的泵。

ULVAC爱发科LS120A-L螺杆式干式真空泵 

ULVAC爱发科LS120A-L螺杆式干式真空泵 

• 在接近大气压时的抽速可达 80 m³ /h，与传统真空泵相比，抽气时间可缩短约 20%。

• 标配的专用消音器也解决了干式真空泵固有的噪音问题。 极限压力下的噪音值小于 61 dB（A），即使在运行过程中也不明显。 (*1)

• C 规格中标配的 ECO-SHOCK 技术是 ULVAC 专有的节能技术。 极限压力下的功耗可降至 0.6 kW 或更低。 (*2)

• “Model：LS" 不需要轴封气体。 在主要排放氮气和空气的清洁工艺中，可以降低运行成本。 (*3)

• 对于想要进一步提高抽速的用户，我们建议使用机械增压泵。 120~ 通过组合1200 米³/h 是可访问的。

(*1) LS120A-C
时 （*2） C 型
（*3） L 规格也可流吹扫气体

C 规格：清洁工艺 （LS***A-C） 特点
：内置 ECO-SHOCK 的低功耗型
应用：用于清洁排气和_N2 排气、溅射、气相沉积、粘合、负载锁定室、TMP 辅助等。

L 规格： 轻工艺 （LS***A-L） 特点
： 具有表面处理和吹扫功能的
轻工艺类型 应用： 用于水蒸气和挥发性化学废气等轻工艺、真空干燥、冷冻干燥、灰化、一般工业应用等。