ULVAC爱发科 真空泵 蒸镀前级泵 爱发科 120 档、面向含粉 + 腐蚀气体的工艺型螺杆干泵，适合半导体、锂电、热处理这类会产生粉末、腐蚀蒸气的产线，可独立抽气，也可作为分子泵前级泵

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ULVAC爱发科 真空泵 过载稳运行 爱发科 120 档、面向含粉 + 腐蚀气体的工艺型螺杆干泵，适合半导体、锂电、热处理这类会产生粉末、腐蚀蒸气的产线，可独立抽气，也可作为分子泵前级泵