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产品简介
ULVAC爱发科 机械增压泵 PRC-006A“Model：PRC" 是一种机械式增压泵，主要用于需要特别清洁度的半导体和液晶制造工艺。采用封闭电机，油不会从轴封中泄漏。 也可以选择大气压驱动类型作为选项。
ULVAC爱发科 机械增压泵 PRC-006A
ULVAC爱发科 机械增压泵 PRC-006A
由于无
油套管腔中没有润滑油，因此即使对水蒸气等蒸汽和溶剂也能获得稳定的性能。
屏蔽电机通过采用屏蔽电机，
我们能够消除大气/真空的机械密封。 无需担心漏油，可在清洁的环境中使用。
具有优异耐腐蚀性的
表面处理主要部件采用阳极氧化处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异，抑制了泵内部的划痕和腐蚀。 还提供可选的表面处理。
由于它可以与常压驱动型（选项：变频）
粗抽泵同时启动，从而有效地缩短了抽气时间，因此与标准型相比，可以缩短排气时间。
除了针对特殊应用的标准可选支持
外，还提供用于特殊应用的型号。
气相沉积、溅射、离子镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析仪器， 泄漏测试设备
气体置换、填充、真空绝热
热处理炉、熔炼炉
其他真空设备
| 型号 *1 | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | PRC-018A 系列 | ||
| 最大抽速 | 50 赫兹 | 280米3/h （4670 升/分钟） | 500 米3/h （8330 升/分钟） | 1000 米3/h （16700 升/分钟） | 1500米3 /h （25000 升/分钟） | |
| 60 赫兹 | 330 米3/h （5500 升/分钟） | 600米3/h （10000 升/分钟） | 1200米3/h （20000 升/分钟） | 1800 米3/h （30000 升/分钟） | ||
| 最大吸入压力 | 50 赫兹 | 1.2 x 103 帕 | 1.3 x 103 帕 | 1.2 x 103 帕 | ||
| 60 赫兹 | 约9.3 x 102 帕 | 1.1 x 103 帕 | 约9.3 x 102 帕 | |||
| 最大允许压差 | 50 赫兹 | 4.0 x 103 帕 | 7.3 x 103 帕 | 4.3 x 103 帕 | ||
| 60 赫兹 | 3.3 x 103 帕 | 6.0 x 103 帕 | 3.2 x 103 帕 | |||
| 极限压力 *2 | 4.0 x 10-1 帕 | 6.7 x 10-1 帕 | ||||
| 可驱动压力 | ~1.0 x 105 PA （大气压力驱动） | |||||
| 电机 *3 | 格式 | 屏蔽式三相异步电动机 | ||||
| 高效级 | ー | |||||
| 输出 | 0.75 kW （2 极） | 2.2 kW （2 极数） | 3.7 kW （2 极数） | 5.5 kW （2 极） | ||
| 电压 （200V 级电机） | 50 赫兹 | 200 伏 | ||||
| 60 赫兹 | 200/220 伏 | |||||
| 使用油 *4 | ULVOIL R-42 | |||||
| 所需油量 | 0.7 升 | 1.5 升 | 1.9 升 | |||
| 冷却方式 | 水冷式 | |||||
| 冷却水 | 入口压力 | 0.3 米帕 | ||||
| 入口压差 | 0.01 Mpa 或更高 | |||||
| 冷却水量 | 2 升/分钟 | 3 升/分钟 | ||||
| 冷却水温度 *5 | 5 ~ 30 °C | |||||
| 进气口 JIS-B-2290 | VG80 等效值 | VG100 等效值 | 相当于 VG150 | |||
| 排气孔 JIS-B-2290 | 相当于 VF80 | 相当于 VF100 | ||||
| 尺寸 W×D×H *6 | 296×575×260 毫米 | 356×619×320 毫米 | 406×759×340 毫米 | 406×989×340 毫米 | ||
| 质量 | 51 千克 | 86 千克 | 118 千克 | 150 千克 | ||
| 标准辅助泵 | VD60C 系列 | VD90C 系列 | VS2401 系列 | VS2401 系列 | ||
| 标准配件 | 使用说明书 1 份，1 单位油 | |||||
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