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产品简介
ULVAC爱发科GR60A通用带电机罗茨真空泵干式真空泵“Model：GR"是在久经考验的“Model：LR・HR"的基础上，为一般工业设计的结构简单的泵。
ULVAC爱发科GR60A通用带电机罗茨真空泵
ULVAC爱发科GR60A通用带电机罗茨真空泵
可用于高负载应用，例如大气~真空的重复抽真空和高压区域的连续运行
非常适合需要高通量的载重锁室（制备室和取出室）的排气
与通用感应电机兼容
可安装防爆电机等特殊电机（可选）
使用多电压电机
用
真空排气清洁气体，如空气和惰性气体
各种沉积设备的制备室和取出室的排气
一般工业应用，如真空干燥、真空气体置换和真空消泡
真空气体置换，例如真空绝热和充气
| 型 | GR60A 系列 | GR90A 系列 | GR180A 系列 | |||||
| 最大抽速 | 50 赫兹 | m3/h（升/分钟） | 62(1860) | 112(1030) | 183(3100) | |||
| 60 赫兹 | m3/h（升/分钟） | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 极限压力 *1 | 帕 | 5.0 | ||||||
| 最大入口压力 | 气压 | |||||||
| 最大排气口压力 | 帕 | 1~大气压 | ||||||
| 进气口 | VG50 系列 | VG80型 | ||||||
| 排气口 | 西北 40 | |||||||
| DRP 表面处理 | 〇 | |||||||
| 发动机 | 输出功率 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 电压 [V] | 50 赫兹 | 200~240/380~415°C | ||||||
| 60 赫兹 | 200~240/380~460°C | |||||||
| 质量 | 公斤 | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却方式 | 冷却水 的一次供应压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||
| 冷却水 入口/出口压差 | 兆帕 | >0.1 | ||||||
| 冷却水温度 | °C | 10~30 *2 | ||||||
| 冷却水流量控制 | 升/分钟 | >5.0 | ||||||
| 氮气 | 一次供气压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||
| 出口 调节压力 *3 | 兆帕 | 0.05~0.1（运转） | ||||||
| 轴 | SLM 系列 | 5.0 *4 | ||||||
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