ULVAC爱发科 罗茨干式真空泵 LR90Model:ECO-SHOCK"是一个划时代的附件,当连接到您当前的干式真空泵时,它可以显着节省干泵的能源。
ULVAC爱发科 罗茨干式真空泵 LR90
ULVAC爱发科 罗茨干式真空泵 LR90
有助于节能将干式真空泵的功耗降低
高达 80%(与本公司相比),
还具有抑制干泵发热的作用,可降低空调设备的功耗。
* 不能用于排放易燃、易燃、有毒气体等的泵。
提高干泵的性能提高极限压力性能降低
排气噪音降低排气速度在连续运行时间不超过
1000 Pa 的应用中实现
高效率
*可安装在排气口抽真空没有问题的干泵上。
易于安装
用
干式真空泵用于抽空空气、氮气和氩气等惰性气体
用于溅射制备室和取出室的干式真空泵
真空排气清洁气体,如空气和惰性气体
各种沉积设备的制备室和取出室的排气
一般工业应用,如真空干燥、真空气体置换和真空消泡
真空气体置换,例如真空绝热和充气
型号名称 | LR60 系列 | LR90 系列 | LR180型 |
抽速*1 | 1300升/分钟 | 2100升/分钟 | 3980升/分钟 |
实测功耗*2 | 2.1千瓦 | 3.6千瓦 | 6.6千瓦 |
安装 ECO-SHOCK 时测得的功耗 *3 *4 | 0.7千瓦 | 1.0千瓦 | 1.6千瓦 |
功率降低率 | 67% | 72% | 76% |
*1 工频:60Hz
*2 功耗为极限压力下的
代表值*3 包括
ECO-SHOCK 功耗*4 当密封气体和气体上升的流速为 0 Pa·m3/s 时。 这取决于密封气体的流速和气体上升。