产品简介

NIDEC-晶圆搬送机器人-工业传感器
SR8241 是尼得科 3 连杆 5 轴大气晶圆搬送机器人，适配 8/12 寸晶圆，无轨道设计可直接对接最多 5 个 FOUP。双独立手爪支持双片同步取放，低发尘、低振动，可选翻转轴，主要用于 EFEM 前端模块、半导体清洗、检测、研磨设备内晶圆高速洁净搬运。

NIDEC-晶圆搬送机器人-工业传感器

NIDEC-晶圆搬送机器人-工业传感器

SR8241 是尼得科仪器推出的大气型晶圆搬送机器人，主打半导体 EFEM 前端模块配套，核心亮点是自研三段式连杆机械臂，区别于行业主流双连杆方案，在保证同等作业覆盖范围的前提下，将机械臂最大伸展半径缩短 72mm，非常适配半导体设备以 10mm 为单位的紧凑化设计趋势，帮助整机厂商缩小设备占地面积，提升洁净车间厂房利用率尼得科/N...。整机采用 5 轴伺服架构，X 轴行程 ±750mm、Z 轴行程 470mm、翻转轴 ±275°、θ 轴 ±170°，全部搭载尼得科自研伺服马达与绝对值编码器，配套专用运动控制算法，抑制高速启停时的振动，在高等级无尘环境下实现平稳、高速的晶圆搬运，减少晶圆滑移、颗粒污染、崩片等不良。设备标配双独立末端执行器，两套手爪独立驱动，支持一次同时拾取、放置两片晶圆，手爪间距 10mm，和标准 FOUP 晶圆片间距匹配，无需额外偏移补偿，有效缩短 Cycle Time，提升设备吞吐量。手爪支持选型切换，可选用真空吸附式或者边缘夹持式，适配薄晶圆、翘曲晶圆等不同基板，同时支持选配翻转轴，实现晶圆翻面，满足光学检测、正反面工艺处理需求。该机型最大的优势是无行走轨道结构，依靠 3 连杆臂本身的运动，一台机器人即可覆盖最多 5 个 FOUP 的位置，省去长距离线性导轨组件，既降低设备采购成本，也减少导轨发尘、维护点位，提升洁净稳定性。低取片路径设计，降低整机高度限制，方便集成到各类紧凑型半导体工艺设备中，包括清洗机、研磨机、薄膜沉积设备、光学检测设备等。洁净性能按照半导体大气搬送标准开发，运动部件做低发尘处理，控制粉尘产生，避免微粒污染晶圆表面。模块化手爪接口标准化，手爪拆装更换简单，方便产线换型、维护保养。控制系统支持标准半导体通讯协议，可直接对接主机 PLC、EFEM 控制器，快速联调。适用边界上，该型号为大气环境机器人，不适合真空腔体内搬送；针对大产能、多 FOUP 布局场景，相比轨道机器人结构更简单，维护量更低。客户主要为半导体设备厂商、EFEM 模组厂商，广泛用于 200mm、300mm 晶圆产线的前端晶圆上料、下料、盒间转移，是尼得科半导体搬运机器人的主力高吞吐机型。

NIDEC尼得科-马达铁芯加工用高速精密冲床-