产品简介

ACCRETECH东京精密 探针台 高速索引
**全自动晶圆探针台**，东京精密新一代量产主力机型，面向逻辑、SOC、存储、功率器件晶圆测试，e 版本是增强版（Enhanced），振动抑制、高速 Index、高频测试稳定性进一步优化，对标 TEL Precio 系列、Cascade探针台

ACCRETECH东京精密  探针台  高速索引

ACCRETECH东京精密  探针台  高速索引

全自动晶圆探针台，东京精密新一代量产主力机型，面向逻辑、SOC、存储、功率器件晶圆测试，e 版本是增强版（Enhanced），振动抑制、高速 Index、高频测试稳定性进一步优化，对标 TEL Precio 系列、Cascade 探针台

核心优势

1. 适配晶圆：Φ300mm（12 寸），支持 PLP 大尺寸方形基板

2. 定位精度：XY 探针接触精度 ±1.5μm

3. 运动特性：低振低噪，Index 步进、晶圆搬运、对位流程优化，节拍高

4. 卡盘选配：常温、高温、低温、低噪声卡盘，满足宽温测试

5. 配方兼容：继承前代 AP 平台，老产线迁移不用重写大量程序，降低换线成本

6. 自动化深度：APC 自动换卡 + PCAS 自动对针，大幅减少人工干预，适配无人 Fab

7. 振动控制优秀：e 版尤其适合微弱信号、射频、低漏电这类容易受振动干扰的测试

8. 接口标准齐全：GEM/SEMI 标准，和泰瑞达、爱德万等主流测试机适配成熟

对标选型思路

• 对标 TEL Precio XL：TEL 生态更强、客户基数更大；AP3000/e 优势在于配方兼容、振动控制、功率器件 + 存储双线适配，价格略低一档

• 对标 Cascade：Cascade 偏向实验室 / 研发高精；AP3000/e 是量产型，UPH、自动化能力更强