KASHIYAMA樫山工业NeoDry7E风冷干式真空泵 采用在泵室中不使用油的干式方式“清洁排气

KASHIYAMA樫山工业MU1218P/H噪音干式真空泵 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

原装KASHIYAMA樫山工业干式真空泵MU600P/H 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

进口KASHIYAMA樫山工业MU300P/H干式真空泵 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

KASHIYAMA樫山工业耐加工真空泵MU180P/H 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

KASHIYAMA樫山工业MU100P/H耐加工真空泵 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。