KASHIYAMA樫山工业节能干式真空泵MU20N18X 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

KASHIYAMA樫山工业MU1218X噪音干式真空泵 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

日本KASHIYAMA樫山工业工业真空泵MU600X 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

日本KASHIYAMA樫山工业MU300X干式真空泵 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

KASHIYAMA樫山工业耐加工干式真空泵MU180X 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

KASHIYAMA樫山工业MU100X耐加工干式真空泵 能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。