ULVAC爱发科UR3601-TT多级罗茨干式真空泵 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 UR1800 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。

ULVAC爱发科UR1200多级罗茨干式真空泵 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵UR421-T 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。

ULVAC爱发科 UR600 多级罗茨干式真空泵 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR1200 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。