ULVAC爱发科HR300 多级罗茨干式真空泵 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR90 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。

ULVAC爱发科HR60多级罗茨干式真空泵 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。

ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵 LS1200A-L “Model：LS” 是被归类为螺杆式干式真空泵的真空泵。 过去，提高抽速需要消耗大量功率，但通过将专有的螺杆形状与节能技术相结合，这款干式真空泵实现了高速排气和低功耗。 有四种型号的阵容，您可以根据设备的大小、使用条件和用途选择具有最佳泵送能力的泵。

ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵LS600A-C “Model：LS” 是被归类为螺杆式干式真空泵的真空泵。 过去，提高抽速需要消耗大量功率，但通过将专有的螺杆形状与节能技术相结合，这款干式真空泵实现了高速排气和低功耗。 有四种型号的阵容，您可以根据设备的大小、使用条件和用途选择具有最佳泵送能力的泵。

ULVAC爱发科LS600A-L螺杆式干式真空泵 “Model：LS” 是被归类为螺杆式干式真空泵的真空泵。 过去，提高抽速需要消耗大量功率，但通过将专有的螺杆形状与节能技术相结合，这款干式真空泵实现了高速排气和低功耗。 有四种型号的阵容，您可以根据设备的大小、使用条件和用途选择具有最佳泵送能力的泵。