ULVAC爱发科 机械增压泵 PRC-006A “Model：PRC” 是一种机械式增压泵，主要用于需要特别清洁度的半导体和液晶制造工艺。 采用封闭电机，油不会从轴封中泄漏。 也可以选择大气压驱动类型作为选项。

ULVAC爱发科PRC-003A机械增压泵 “Model：PRC” 是一种机械式增压泵，主要用于需要特别清洁度的半导体和液晶制造工艺。 采用封闭电机，油不会从轴封中泄漏。 也可以选择大气压驱动类型作为选项。

ULVAC爱发科UR3601-TT多级罗茨干式真空泵 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 UR1800 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。

ULVAC爱发科UR1200多级罗茨干式真空泵 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵UR421-T 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以 气态排出。