产品简介

ULVAC爱发科 真空泵 罗茨多级泵
爱发科 120 档、面向含粉 + 腐蚀气体的工艺型螺杆干泵，适合半导体、锂电、热处理这类会产生粉末、腐蚀蒸气的产线，可独立抽气，也可作为分子泵前级泵

ULVAC爱发科  真空泵   罗茨多级泵

ULVAC爱发科  真空泵   罗茨多级泵

爱发科 120 档、面向含粉 + 腐蚀气体的工艺型螺杆干泵，适合半导体、锂电、热处理这类会产生粉末、腐蚀蒸气的产线，可独立抽气，也可作为分子泵前级泵

特点与优势

1. 干式无油结构：泵腔无润滑油，无油返流污染，满足洁净真空要求，不需要定期换真空泵油，运维工作量更低。

2. 耐蚀强化：转子、气缸等核心部件做特殊耐蚀涂层，可耐受等离子工艺、刻蚀、去胶产生的酸性 / 卤素类腐蚀气体，相比 LS 抗腐蚀能力明显提升

3. 粉体排出优化（核心卖点）：专属螺杆型线设计，不容易积粉堵泵，解决工艺粉末堆积卡死泵体的痛点，是 MS 系列最大区别于 LS 的优势

4. 全压力区间连续运行：大气压直达极限真空（≤0.6Pa）可连续运转，不用中途切换泵组，适合不间断量产设备。

5. 基础参数优势：功率 2.4kW、水冷（4L/min）、噪音 61dB (A)，自带吹扫气接口（0~50SLM），可配氮气吹扫进一步保护腔体；水蒸气处理上限 1.5kg/h

6. 接口规格：进气 KF50/ VG50，排气 KF40，适配主流半导体、锂电真空管路。

应用场景

1. 半导体 / 泛半导体：刻蚀、去胶（ashing）、等离子清洗、部分 PECVD，工艺产生副产物粉末、腐蚀性气体，是 MS 最主流场景；也可作为分子泵前级泵

2. 锂电池制造：电极干燥、注液真空脱泡、粉体材料真空处理，锂电正负极粉料很容易析出，适配排粉需求

3. 真空热处理：烧结炉、渗碳炉，金属粉末、高温分解气氛排气

4. 冻干、医药、特种干燥：真空冷冻干燥、溶剂脱除，带少量腐蚀性有机蒸气工况。