产品简介

EBARA荏原 真空泵 干式无油泵
**半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵**
定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**

EBARA荏原    真空泵     干式无油泵

EBARA荏原    真空泵     干式无油泵

**半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵**

面向晶圆、面板、光伏产线 Subfab，主打一机兼容多类含轻度腐蚀、少量副产物制程，兼顾小型化、节能与低总拥有成本（TCO）的模块化无油干泵

特点 & 优势

1. 无油干式结构，无返油污染，满足洁净制程要求

2. 宽范围独立温控系统，可按工艺调温，抑制副产物凝结，延长保养周期

3. 模块化设计，整机体积紧凑，占地面积比竞品缩小约 30%+

4. 标配耐蚀材质；可选升级高耐蚀材质包，应对卤素类腐蚀气体

5. 50/60Hz 同源性能，海外产线、国内产线机型通用

6. 节能 BLDC 电机，待机功耗低，长期运行电费优势明显

7. 一机适配多种工艺，备品型号少，库存与运维成本降低

8. 支持 SEMI‑S2、CE、NRTL 安全认证，满足晶圆厂规范

9. 低振动低噪音，适配洁净厂房 Subfab 布置

应用场景（介质仅限清水、洁净冷热水）

1. 半导体：各类蚀刻、PECVD/HDP-CVD、灰化 Ashing、离子注入、外延生长 Epi、溅射 PVD荏原製作所

2. 光伏、显示面板：薄膜沉积、刻蚀制程真空抽吸

3. 科研真空、SEM / 分析设备配套（中真空需求）✅适配：含轻度腐蚀气体、少量反应副产物的工艺