EBARA荏原 真空泵 抽气速率快 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**

EBARA荏原 真空泵 适配大腔体 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**

EBARA荏原 真空泵 性能无偏差 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**

EBARA荏原 真空泵 极限真空优 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**

EBARA荏原 真空泵 抽速覆盖广 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**

EBARA荏原 真空泵 洁净制程用 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**