进口EBARA荏原干式真空泵ESA70W（-D） 兼容高温控制 抽速大 大流量排气 采用耐腐蚀材料标准 耐腐蚀性增强选项 能够在重负荷下进行处理 在不同频率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL

原装EBARA荏原ESA25-D干式真空泵 干式真空泵，可排出氢气等轻质气体，可对大腔室进行高速排气 用于高速排气的大型真空室 有机溶剂兼容选项 氢气等轻质气体的排放 耐腐蚀材料选项 油 提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 研究设备的理想选择 特定化学物质的吸附

进口供应EBARA荏原原装干式真空泵ESA15-D 干式真空泵，可排出氢气等轻质气体，可对大腔室进行高速排气 用于高速排气的大型真空室 有机溶剂兼容选项 氢气等轻质气体的排放 耐腐蚀材料选项 油 提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 研究设备的理想选择 特定化学物质的吸附

日本EBARA荏原原装干式真空泵EST800WN 兼容高温控制 抽速大 大流量排气 采用耐腐蚀材料标准 耐腐蚀性增强选项 能够在重负荷下进行处理 在不同频率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL

进口供应EBARA荏原EST500WN干式真空泵 兼容高温控制 抽速大 大流量排气 采用耐腐蚀材料标准 耐腐蚀性增强选项 能够在重负荷下进行处理 在不同频率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL

日本供应EBARA荏原EST300WN干式真空泵 兼容高温控制 抽速大 大流量排气 采用耐腐蚀材料标准 耐腐蚀性增强选项 能够在重负荷下进行处理 在不同频率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL