EBARA荏原 真空泵 通流能力强 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**

EBARA荏原 真空泵 氮气需吹扫 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**

EBARA荏原 真空泵 运维成本省 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**

EBARA荏原 真空泵 多工艺兼容 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**

EBARA荏原 真空泵 离子注入 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**

EBARA荏原 真空泵 适配刻蚀工 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**