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EBARA荏原 真空泵 模块化机身 **半导体 / 泛半导体中制程无油干式真空泵，模块化节能型干泵** 定位一句话：**兼顾腐蚀性工艺、多工艺兼容、低总拥有成本的中负荷主力干泵**